MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x 10 mm
Kompakte Mehrachssysteme
782325:110.24
Hochauflösender Mikropositionierer
Das Positioniersystem MP53 ist ein miniaturisiertes 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern realisieren. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005 µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich.
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Optional erweiterbar:
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Anwendungsfelder
Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Probenvorbereitung, Probenscan, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse
782325:110.24 | X | Y | Z | |
Standardsystem |
| MT53 | MT53 | MT53 |
Verfahrweg | [mm] | 10 | 10 | 10 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.2 | ± 0.2 | ± 0.2 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.3 | ± 0.3 | ± 0.3 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 | 5 | 5 |
Max. Last | [N] | 5 | 5 | 5 |
Motor |
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Führung |
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Feedback | ||||
Länge x Breite x Höhe | [mm] | 90 x 55 x 60 |