Halbleiter Fertigung & Handling

Für Sie entwickeln wir kundenspezifische Lösungen in der Standard-, Elektronenstrahl- und EUV-Lithografie. Für den Aufbau Ihres Systems oder für die Integration in Ihre Anwendung. Hierzu bieten wir Systeme zur Strahlformung, Strahlhomogenisierung bzw. -gleichformung und Zoom z.B. Justage für Microstructuring, Stahlen sowie Linsen Maskenpositionierung oder Filtereinstellung.

 

Kundenspezifische Positioniersysteme

Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage
Dreh-Hub-Aktor (Z-Phi) mit integrierter Steuerung für die automatisierte Präzisions-Montage… Hochpräzise automatisierte Montage von...
DUV-Polarisationsfilter für die Miniaturisierung in der Halbleiter-Lithografie | Positioniersystem zur Wafer-Belichtung in trockener, sauerstofffreier Reinstickstoff-Atmosphäre
DUV-Polarisationsfilter für die Miniaturisierung in der Halbleiter-Lithografie |… Yield-Maximierung im kleinsten Bauraum Dieses...
XY-Theta-Justage von UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem für die Wafer-Belichtung in trockener Stickstoffatmosphäre
XY-Theta-Justage von UV-Belichtungsmasken | Hochpräzises Positioniersystem für die… µm-Justage für Microstructuring unter extremen...
Kompakter 3D Masken Aligner für SMT Halbleiter Druck / Lithographie | XY Phi Positioniersystem (Reinraum, UV) für 650 x 650 mm / GEN 3
Kompakter 3D Masken Aligner für SMT Halbleiter Druck / Lithographie | XY Phi… Kompakte und präzise Justage mit hohem Durchsatz...
Handling-System für organische LEDs
Handling-System für organische LEDs Aus Platzgründen sind zwei Rahmen...
Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum
Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine… Hochpräzise Verstellung zweier Optiken Diese...

Mehrachssysteme

MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod Alternative | Hub XY 10 mm Rx Ry 4° | hohe Last bis 10 kg
MP220-4 Miniatur-XY-Phi-Delta Positioniersystem, Kardan auf XY Apertur Stage | Hexapod… Kardan auf XY Stage mit Apertur Dieser XY Phi...
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5°
MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5… Flächen-Aligner mit Schrittmotor und...
MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg | Hub 5 x 5 mm x 5°
MP700-3 Flacher 3D Aligner | XYRz Linearmotor, Luftlager | Apertur 730 mm | Last 28 kg |… Parallel-Kinematischer 3D-Aligner mit großer...
XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 300 x 300 mm x 360°
XY-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm...
XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb | Phi Zahnriemen, DC-Motor | Hub 450 x 350 x 16 mm x 45°
XY-Z-Phi Positioniersystem mit 66 mm Apertur (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Z… Präzisise und hochdynamisch für Proben bis 150 mm...
XYZ Positioniersystem mit XY Stage (Reinraum ISO 6) | XY Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb, Schrittmotor | Z Gleitgewindetrieb | Hub 305 x 305 x 200 mm
XYZ Positioniersystem mit XY Stage (Reinraum ISO 6) | XY Kreuzrolle, Kugelgewindetrieb,… Modulares, reinraumtaugliches 3-Achs-System Dieses...
XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub 200 x 250 mm x 360°
XY-Phi Positioniersystem (Reinraum) | XY Linearmotor, Profilschiene | Phi DC-Motor | Hub… Hochgenaue Positionierung für Proben bis 150 mm /...

Vakuum / Reinraum

MT53-PM
MT53-PM Miniatur Lineartisch 53 x 53 x 20 mm, HV / UHV /...
MT130
MT130 EUV Miniatur Lineartisch 155 x 130 x 43 mm, UHV /...
LA170
LA170 Präzise Schwerlast XYZ Linearachse HV / UHV / EUV,...
LA97
LA97 Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm...
LA95
LA95 Präzisions-Linearachse HV / UHV / UV / DUV, ISO...
DT155
DT155 Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur UHV,...
HDT255
HDT255 Durchlicht-Hubtisch UHV, DUV / EUV, ISO 6, Hub 16...
KT106/170-SM
KT106/170-SM XY-Proben-Stage HV, UV / DUV, ISO 4, Hub 136 x 170...
KDT105
KDT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm...
KT105
KT105 Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm...
LA80
LA80 High Speed Linearachse HV / UHV / EUV, ISO 4, 200...
DT230-SM
DT230-SM Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch UHV,...
XYZ-Transportachse
XYZ-Transportachse Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV /...
3LT300 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
3LT300 XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für...

Kugel- und Gleitgewindetriebe

KGT 1112 -
KGT 1112 Anschluss-Gewindemutter mit 4-Punkt-Kontakt und...
GGT M4x1P0.5 -
GGT M4x1P0.5 Reinraum ISO3, bis 10E-11 mbar, Länge 112 mm, 0.1...
KGT 1214 -
KGT 1214 Zylindermutter mit 4-Punkt-Kontakt und...
KGT 1412 -
KGT 1412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und...
KGT 1416 -
KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt ...
KGT 1510 -
KGT 1510 Federverspannte Anschlussgewinde-Doppelmutter mit...
KGT 2422 -
KGT 2422 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und...
KGT ETA+ -
KGT ETA+ Energieeffiziente Kugelgewindetriebe ETA+ mit...
KGT 1416 -
KGT 1416 Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt ...
KGT 2412 -
KGT 2412 Flansch-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und...